устройство для генерации плазмы в диэлектрическом сосуде ( № 146925)

Классы МПК:H01J37/32   
Автор(ы):Бурдовицин Виктор Алексеевич (RU),Золотухин Денис Борисович (RU),Окс Ефим Михайлович (RU)
Патентообладатель(и):Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" (ТУСУР) (RU)
Приоритеты:
начало действия патента:
05.03.2014
публикация патента:
20.10.2014

ФОРМУЛА ПОЛЕЗНОЙ МОДЕЛИ

Устройство для генерации плазмы в диэлектрическом сосуде, включающее содержащую диэлектрический сосуд рабочую камеру, электронный источник, размещенный на фланце рабочей камеры, отличающееся тем, что электронный источник не содержит накаливаемых элементов, снабжен фокусирующей системой и расположен соосно с горлышком сосуда, перед горлышком сосуда соосно расположен заземленный металлический диск с центральным отверстием, диаметр которого меньше диаметра горлышка, и в рабочей камере создано давление 5-20 Па.

Наверх